傳統的芯片互聯，多是采用導線互聯的方式。中科院合肥物質科學研究院智能所科研團隊研發的玻璃金屬穿孔工藝，是一種新型垂直互聯技術，為實現芯片與芯片間距離*短、間距*小的互聯，提供了一種新型技術途徑。“在玻璃晶圓上面打很多所需要的高精度密密麻麻的小孔，在孔里填充金屬，實現各個電路單元的垂直互聯。”中科院合肥物質科學研究院智能機械研究所研究人員李山介紹，為了突破這一技術，研發團隊在近五年的時間里不斷攻克一系列技術難題和瓶頸。“實現孔的直徑小于20微米以下，高精度高均勻性制作，同時我們可以實現它的金屬填充率達到95%以上。”經檢測，該團隊研制出來的玻璃金屬穿孔晶圓，各項主要參數均與國際*級玻璃廠商相當，部分參數還優于國際水平。

　　玻璃金屬穿孔晶圓具有高度靈活性，可滿足諸多定制化需求，經濟效益、行業意義重大，在半導體芯片3D先進封裝、射頻芯片封裝等多個領域，具有廣闊的應用前景。

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　　原標題：《中科院合肥團隊突破關鍵技術！》

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