中新社合肥7月15日電 (記者 趙強(qiáng))安徽省合肥市人民政府15日發(fā)布消息稱，合肥至微項(xiàng)目當(dāng)日正式量產(chǎn)，這是中國國內(nèi)首個(gè)立項(xiàng)又*先量產(chǎn)的12英寸晶圓再生工廠。

　　所謂“晶圓再生”，指的是通過去除損耗控?fù)跗砻娴碾s質(zhì)和缺陷，使處理后的晶圓達(dá)到芯片的標(biāo)準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)其循環(huán)再利用，進(jìn)而為企業(yè)節(jié)約大量成本。

　　據(jù)介紹，合肥至微項(xiàng)目總投資近10億元(人民幣，下同)，2020年3月正式開工，2020年12月項(xiàng)目設(shè)備基本搬入調(diào)試，2021年3月，進(jìn)入試生產(chǎn)階段，至6月進(jìn)入量產(chǎn)階段。

　　合肥量產(chǎn)的這一晶圓再生項(xiàng)目以14納米晶圓廠的再生晶圓需求為設(shè)計(jì)基礎(chǔ)，是服務(wù)于中國半導(dǎo)體高階市場的首條投產(chǎn)的12英寸晶圓再生產(chǎn)線。該項(xiàng)目全面達(dá)產(chǎn)后，可形成每年168萬片晶圓再生及120萬件零部件清洗的能力，滿產(chǎn)后年產(chǎn)值可超過6億元。

　　據(jù)了解，在此之前，中國高階的晶圓再生需求都要送到日本、中國臺(tái)灣等地處理。而隨著至微項(xiàng)目的量產(chǎn)，合肥將成為滿足晶圓再生需求的重要基地。

　　經(jīng)過多年發(fā)展，合肥已成為中國國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展*快、成效*顯著的城市之一。目前已集聚集成電路企業(yè)超300家、從業(yè)人員超2萬人，擁有晶合集成、通富微電等一批行業(yè)龍頭，成為中國少數(shù)幾個(gè)擁有集成電路設(shè)計(jì)、制造、封裝測試及設(shè)備材料全產(chǎn)業(yè)鏈的城市之一。

　　合肥至微項(xiàng)目的成功量產(chǎn)，將成為中國*早具備12英寸晶圓再生及關(guān)鍵設(shè)備零部件再生能力的項(xiàng)目之一，這為合肥市集成電路產(chǎn)業(yè)鏈添上重要一環(huán)，也為產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入了新的動(dòng)力。(完)

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