“新芯之都”合肥造出高端硅產品
今年12月,作為全球第二大半導體設備公司配套的知名企業——漢民科技投資的合盟精密工業(合肥)有限公司(簡稱“合盟精密”),即將在合肥空港經濟示范區量產硅環和硅片產品,這是半導體蝕刻制程設備中關鍵的電極。面對美日數十年的壟斷,中國的半導體產業也有了自己的高端硅零部件產品。
鄭人豪站在位于合肥空港經濟示范區的集成電路產業園辦公室里,眼前是大片的開闊地,周圍是迅速建起的廠房。C棟1層,是合盟精密的大本營。
雖然整個集成電路產業園還在加緊完善建設,但合盟精密的硅環、硅片樣品已下線。在一間密閉的實驗室里,技術人員將硅環拿在手里,仔細查看表面,“這是看看硅環的整體做工、質量”,他介紹。而更加嚴謹的檢測,是由一臺激光掃描機器完成。肉眼看上去平整的硅環,在激光探頭的檢測下,能夠看到表面細微的結構,“因為是用在半導體設備里的電極,所以一絲瑕疵都不能有”,這也是這個產品的高端所在。
今年3月19日,漢民科技股份有限公司副總經理林冬青率隊來到合肥,就合作進行了深入會談。之后,鄭人豪作為合盟精密的代表鄭重在投資協議上簽字。謝志坤是漢民科技(上海)有限公司的項目經理,前期一直是他和鄭人豪負責在全國各地的項目選址。
2016年,國內開始大力發展集成電路產業,而在上海的漢民科技承載了尋找制造業轉型基地的重任。當時,合肥“新芯之都”的說法一下吸引了兩人,而兆易創新、通富微電等20余家知名企業的聚集和落地,對漢民科技來說正是所要尋找的產業基礎?!爱敃r我們有對各城市進行打分,超過90分的只有合肥”,鄭人豪說。
合盟精密的簽約落地,成為合肥在全國集成電路產業基地競爭中的一大亮點。鄭人豪說,合盟精密總投資3000萬美元,項目主要從事半導體蝕刻制程設備中關鍵硅零部件——硅環和硅片的生產和制造,為全球第二大半導體設備公司日本東電電子配套,項目在高端硅零部件產品方面填補了國內空白。
據介紹,半導體硅材料的現狀是,在當今全球超過2000億美元的半導體市場中,95%以上的半導體器件和99%以上的集成電路(LSI)都是用高純優質的硅拋光片和外延片制作的。在未來30~50年內,它仍將是LSI工業*基本和*重要的功能材料。鄭人豪說,以前硅零部件的材料都是從國外進口,隨著國內產業的發展,材料純度不斷提升,現在他們所選取的合作方之一是遼寧錦州的企業神工半導體,其材料純度已達到世界一級。而且通過比較兩地的客戶聚集度、市場開放程度、區位交通優勢、政府優惠政策等,他們還說服神工半導體在合肥設立供給站,下一步實施計劃正在擬定。
目前, 合盟精密的*一條生產線已建好,正在認證過程中,預計12月就可以量產。
張亞威 安徽商報融媒體記者 郜征/文 劉職偉/攝
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