耗資十億拿下12英寸晶圓市場中國首家12英寸晶圓廠量產
硅晶圓是硅芯片制造的根本原料。美國對我國半導體廠商的打壓、制裁,給我國半導體行業造成沖擊的同時,也讓我們意識到了自己的不足以及半導體核心技術的重要性。在我國大力扶持半導體行業的背景下,又一家企業成功打破技術壟斷,完成半導體核心技術從無到有的蛻變。
老規矩,開門見山。2021年7月15日,合肥官方新聞報道:合肥至微半導體投建的12英寸晶圓制造鏈正式量產。值得一提的是:這座12英寸晶圓廠,是我國首家立項并實現量產的晶圓廠。
合肥至微半導體破冰成功的12英寸晶圓廠,填補了我國半導體供給鏈的又一處空白,解決了我國在12英寸晶圓原料供給中的短板。補充一點,與硅芯片制程工藝的定義標準不同;一般來說;規格尺寸越大的晶圓,生產難度越高。
據了解,合肥至微半導體量產成功的12英寸晶圓廠,是我國面向高端芯片市場的首條12英寸晶圓再生生產線。目的是解決國產半導體在14納米芯片制程中被國外12英寸晶圓材料“卡脖子”的問題。實現并完成我國在12英寸晶圓材料上自給自足的目標。
在這里穿插一點,合肥至微半導體是至純科技旗下的一家負責“半導體晶圓再生和部件再生”項目的載體。至純科技前不久量產成功的28納米濕法清洗設備已經交付給中芯國際、華虹集團使用,有關14納米、7納米制程的清洗設備將于2022年交給華為、中芯國際等國產廠商進行客戶認證。
回到“合肥至微半導體實現12英寸晶圓量產”這件事情上。合肥至微半導體稱,該座晶圓廠在完成所有項目的投建后,預計晶圓年產量可達168萬片,滿產后產值將超過6億元。此外,合肥至微半導體還具備120萬件零部件清洗能力,畢竟是國產清洗設備巨頭至純科技旗下的,清洗功底自然差不了。

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