4英寸玻璃穿孔晶圓。記者 徐旻昊 攝

　　據安徽日報報道 近期，中科院合肥研究院智能所陳池來課題組李山博士等取得重要技術突破，團隊攻克了高均一性玻璃微孔陣列制造、玻璃致密回流、玻璃微孔金屬高致密填充等技術難題，發展了一種面向3D先進封裝的玻璃金屬穿孔工藝，可實現高頻芯片、先進MEMS傳感器的低傳輸損耗、高真空晶圓級封裝。

　　近年來，芯片與電子產品中高性能、高可靠性、高密度集成的強烈需求催生了3D封裝技術并使其成為集成電路發展的主要推動力量之一。傳統的平面化2D封裝已經無法滿足高密度、輕量化、小型化的強烈需求。玻璃金屬穿孔(TGV)是一種應用于圓片級真空封裝領域的新興縱向互連技術，為實現芯片-芯片之間距離*短、間距*小的互聯提供了一種新型技術途徑，具有優良的電學、熱學、力學性能，在射頻芯片、高端MEMS傳感器、高密度系統集成等領域具有獨特優勢，是下一代5G、6G高頻芯片3D封裝的首選之一。

　　為此，團隊針對玻璃金屬穿孔現有工藝問題，結合中科院合肥研究院和中國科學技術大學微納研究與制造中心的前期研究基礎及平臺優勢，提出一種新型玻璃金屬穿孔晶圓制造方案，開發出了高均一性、高致密、高深寬比的玻璃金屬穿孔晶圓，具有超低漏率、超低信號損耗的優勢，滿足環形諧振器、波導縫隙天線G高頻芯片，以及新型MEMS陀螺儀、加速度計3D封裝需求。經檢測，團隊研制出的玻璃金屬穿孔晶圓各項主要參數均與國際*級玻璃廠商肖特、康寧和泰庫尼思科等相當，部分參數優于國際水平，在半導體芯片3D先進封裝、射頻芯片封裝、MEMS傳感器封裝，以及新型MEMS傳感器（MEMS質譜、MEMS遷移譜）設計制造、新型玻璃基微流控芯片制作等多個領域具有廣闊應用前景。

　　2021中國大陸本土封測代工公司前十強公布 合肥新站高新區2家企業上榜

　　近日，“芯思想研究院”發布了2021年中國大陸本土封測代工公司前十強排名，合肥新站高新區兩家企業上榜。據了解，封測是芯片制造經過設計、制造后的第三道工序，封裝測試不僅能讓芯片得到更好地保護，而且相較于單個...

　　國產首個量子芯片設計工業軟件在合肥發布

　　4月30日，位于合肥高新區的合肥本源量子計算科技有限責任公司正式發布首個國產量子芯片設計工業軟件。

　　合肥集成電路測試產業基地正式開建 投產后將形成9萬片/月產能

　　3月21日，合肥集成電路測試產業基地正式開工建設，將為高新區集成電路產業發展再添芯力量。項目建成投產后，可形成包含集成電路8寸、12寸晶圓測試9萬片/月產能。

　　安徽省首家存儲芯片設計企業科創板首發過會

　　記者3月21日從省科技廳獲悉，近日，安徽省扶持的高層次科技人才團隊企業恒爍半導體（合肥）股份有限公司通過上交所科創板上市過會申請，成為省扶持人才團隊在皖創新創業第二家過會企業，也是安徽省首家登陸資本市場...

　　皖企“聯手”   加速汽車芯片國產化

　　全球汽車產業缺芯浪潮延續至今。為了打通集成電路和汽車產業鏈上下游配套協作的堵點卡點，3月31日，安徽省經信廳在合肥晶合集成電路股份有限公司組織召開“芯”“車”協同專場對接會。

　　安徽大部有大到暴雨 高溫暫時退出

　　安徽大部有大到暴雨 高溫暫時退出

　　安慶這項選拔正在公示！擬任人選400名

　　安徽高考分數線點左右公布 新安晚報融媒體平臺將現場直播

　　因工作職務變動 周著辭去安慶迎江區副區長職務

　　合肥軌道“訂單班”又招生了！涉及這些院校

　　涉嫌受賄、濫用職權罪 淮北市原副市長胡亮被提起公訴

　　販賣新型毒品“啪啪水”5030.76千克 銅陵一男子獲無期徒刑

　　池州市自然資源和規劃局二級主任科員胡社祥接受監察調查

　　受賄158萬余元！阜南縣一鎮原黨委*獲刑4年7個月

　　安徽省合肥市潛山路1469號安徽報業大廈11樓

　　未經新安晚報、安徽網書面特別授權，請勿轉載或建立鏡像

　　網站不良信息舉報郵箱： 舉報電話

　　本網站法律顧問：天禾律師事務所 陳軍

產業招商/廠房土地租售：400 0123 021
或微信/手機：13524678515;?13524678515;?13524678515?
請說明您的需求、用途、稅收、公司、聯系人、手機號，以便快速幫您對接資源。?
長按/掃一掃加葛毅明的微信號

掃一掃關注公眾號