今年12月，作為全球第二大半導(dǎo)體設(shè)備公司配套的知名企業(yè)——漢民科技投資的合盟精密工業(yè)（合肥）有限公司（簡(jiǎn)稱“合盟精密”），即將在合肥空港經(jīng)濟(jì)示范區(qū)量產(chǎn)硅環(huán)和硅片產(chǎn)品，這是半導(dǎo)體蝕刻制程設(shè)備中關(guān)鍵的電極。面對(duì)美日數(shù)十年的壟斷，中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)也有了自己的高端硅零部件產(chǎn)品。

　　鄭人豪站在位于合肥空港經(jīng)濟(jì)示范區(qū)的集成電路產(chǎn)業(yè)園辦公室里，眼前是大片的開闊地，周圍是迅速建起的廠房。C棟1層，是合盟精密的大本營。

　　雖然整個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)園還在加緊完善建設(shè)，但合盟精密的硅環(huán)、硅片樣品已下線。在一間密閉的實(shí)驗(yàn)室里，技術(shù)人員將硅環(huán)拿在手里，仔細(xì)查看表面，“這是看看硅環(huán)的整體做工、質(zhì)量”，他介紹。而更加嚴(yán)謹(jǐn)?shù)臋z測(cè)，是由一臺(tái)激光掃描機(jī)器完成。肉眼看上去平整的硅環(huán)，在激光探頭的檢測(cè)下，能夠看到表面細(xì)微的結(jié)構(gòu)，“因?yàn)槭怯迷诎雽?dǎo)體設(shè)備里的電極，所以一絲瑕疵都不能有”，這也是這個(gè)產(chǎn)品的高端所在。

　　今年3月19日，漢民科技股份有限公司副總經(jīng)理林冬青率隊(duì)來到合肥，就合作進(jìn)行了深入會(huì)談。之后，鄭人豪作為合盟精密的代表鄭重在投資協(xié)議上簽字。謝志坤是漢民科技（上海）有限公司的項(xiàng)目經(jīng)理，前期一直是他和鄭人豪負(fù)責(zé)在全國各地的項(xiàng)目選址。

　　2016年，國內(nèi)開始大力發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)，而在上海的漢民科技承載了尋找制造業(yè)轉(zhuǎn)型基地的重任。當(dāng)時(shí)，合肥“新芯之都”的說法一下吸引了兩人，而兆易創(chuàng)新、通富微電等20余家知名企業(yè)的聚集和落地，對(duì)漢民科技來說正是所要尋找的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)。“當(dāng)時(shí)我們有對(duì)各城市進(jìn)行打分，超過90分的只有合肥”，鄭人豪說。

　　合盟精密的簽約落地，成為合肥在全國集成電路產(chǎn)業(yè)基地競(jìng)爭(zhēng)中的一大亮點(diǎn)。鄭人豪說，合盟精密總投資3000萬美元，項(xiàng)目主要從事半導(dǎo)體蝕刻制程設(shè)備中關(guān)鍵硅零部件——硅環(huán)和硅片的生產(chǎn)和制造，為全球第二大半導(dǎo)體設(shè)備公司日本東電電子配套，項(xiàng)目在高端硅零部件產(chǎn)品方面填補(bǔ)了國內(nèi)空白。

　　據(jù)介紹，半導(dǎo)體硅材料的現(xiàn)狀是，在當(dāng)今全球超過2000億美元的半導(dǎo)體市場(chǎng)中，95%以上的半導(dǎo)體器件和99%以上的集成電路（LSI）都是用高純優(yōu)質(zhì)的硅拋光片和外延片制作的。在未來30~50年內(nèi)，它仍將是LSI工業(yè)*基本和*重要的功能材料。鄭人豪說，以前硅零部件的材料都是從國外進(jìn)口，隨著國內(nèi)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，材料純度不斷提升，現(xiàn)在他們所選取的合作方之一是遼寧錦州的企業(yè)神工半導(dǎo)體，其材料純度已達(dá)到世界一級(jí)。而且通過比較兩地的客戶聚集度、市場(chǎng)開放程度、區(qū)位交通優(yōu)勢(shì)、政府優(yōu)惠政策等，他們還說服神工半導(dǎo)體在合肥設(shè)立供給站，下一步實(shí)施計(jì)劃正在擬定。

　　目前， 合盟精密的*一條生產(chǎn)線已建好，正在認(rèn)證過程中，預(yù)計(jì)12月就可以量產(chǎn)。

　　張亞威 安徽商報(bào)融媒體記者 郜征/文 劉職偉/攝

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