合肥集成電路產業再添頭部力量。居全球半導體行業設備四大廠商的日本荏原制作外商獨資企業合肥荏原精密機械有限公司工廠，日前在該區建成，充實了合肥集成電路產業鏈裝備制造環節。

　　據介紹，日前，合肥荏原精密機械有限公司工廠一期正式竣工，該公司隸屬株式會社日本荏原制作所精密電子事業公司，是一家以半導體制造設備為主的企業。其生產的設備干式真空泵位居全球半導體行業四大廠商，CMP研磨機市場占有率全球第二，并與國內幾十家半導體領先企業合作關系密切。合肥工廠投資總額約3億元，占地約30畝，分2期建設，項目一期主要從事干式真空泵的制造、維保服務等。

　　合肥荏原總經理橋本裕表示，近年來，合肥正在發展成為中國為數不多的半導體產業集聚地。在全球半導體市場需求高漲的背景下，為應對國際市場環境變化，荏原制作所不斷擴充產能，在合肥積極布局，并以合肥工廠作為中國區半導體主陣地。同時，合肥荏原也將填補合肥半導體產業鏈中重要的一環，配合合肥市的晶圓制造龍頭企業，共同為“芯屏汽合，集終生智”產業體系的建成完善貢獻力量。

　　據了解，合肥經開區集成電路產業現累計落戶項目56個，入駐集成電路企業67家，已初步形成設計、制造、封測、裝備及材料各個環節較完整的產業鏈。“十四五”期間，該區將借助新能源汽車、智能家電等優勢產業，重點布局第三代半導體、汽車電子等爆發式增長的戰略新興產業，促進產業鏈進一步完善。

　　竣工當天，合肥經開區管委會副主任、出口加工區管理局局長張露，合肥荏原總經理橋本裕，施工單位藤田（中國）建設工程有限公司總經理相園英速，合肥日商俱樂部會長、合肥大久保機械有限公司董事總經理伊野哲也等約50人出席了儀式。日本荏原制作所執行董事、精密電子事業公司總裁戶川在日本總部視頻全程參與并致辭。（李長龍 文/攝）

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