昨日上午，合肥至微項目正式量產(chǎn)，這是國內(nèi)首個立項又是*先量產(chǎn)的12英寸晶圓“再生工廠”，填補了我市集成電路產(chǎn)業(yè)鏈又一空白。

　　晶圓再生，指的是通過去除損耗控擋片表面的雜質(zhì)和缺陷，使處理后的晶圓達到新片的標準，實現(xiàn)其循環(huán)再利用，進而為企業(yè)節(jié)約大量成本。

　　合肥至微項目總投資近10億元，2020年3月正式開工，2020年12月項目設備基本搬入調(diào)試，2021年3月進入試生產(chǎn)階段。

　　據(jù)了解，合肥量產(chǎn)的這一晶圓再生項目以14納米晶圓廠的再生晶圓需求為設計基礎，是服務于中國半導體高階市場的首條投產(chǎn)的12英寸晶圓再生生產(chǎn)線。該項目全面達產(chǎn)后，可形成每年168萬片晶圓再生及120萬件零部件清洗能力，滿產(chǎn)后年產(chǎn)值可超過6億元。

　　合肥至微半導體有限公司是至純科技旗下半導體晶圓再生和部件再生項目的載體，為集成電路企業(yè)12英寸晶圓提供晶圓再生及零部件再生服務。至純集團董事長蔣淵表示，當初被合肥的產(chǎn)業(yè)布局吸引，被政府的務實作風打動，決定將至純科技的晶圓再生業(yè)務落地在此，公司立志成為國內(nèi)領先的半導體工藝裝備材料提供商，代表本土品牌參與國際競爭。

　　據(jù)了解，此前，國內(nèi)高階的晶圓再生需求都要送到日本、中國臺灣等地處理。隨著至微項目的量產(chǎn)，合肥將成為滿足晶圓再生需求的重要基地。

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