合肥集成電路產業再添頭部力量。安徽商報融媒體記者12日從合肥經開區獲悉，居全球半導體行業設備四大廠商的日本荏原制作外商獨資企業合肥荏原精密機械有限公司工廠，日前在該區建成，補充和豐富了合肥集成電路產業鏈上的裝備環節。
據介紹，日前，合肥荏原精密機械有限公司工廠一期正式竣工，是一家以半導體制造設備為主的企業。其生產設備干式真空泵位居全球半導體行業四大廠商，CMP研磨機市場占有率全球第二，并與國內幾十家半導體領先企業合作關系密切。合肥工廠投資總額約3億元，占地約30畝，分2期建設，項目一期主要從事干式真空泵的制造、維保服務等。
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