全國首家!這個“再生工廠”新站量產!
合肥市政府副市長路軍,新站高新區黨工委書記、管委會主任王連貴,區黨工委副書記、管委會副主任藍天,上海至純集團董事長蔣淵,合肥至微半導體有限公司董事長廖世保等出席量產儀式,相關行業協會以及上下游合作企業代表參加。
該項目投資約10億元,包括晶圓再生和半導體部件再生。其中,晶圓再生項目是服務于中國半導體高階市場的首條投產的12英寸晶圓再生產線,不僅填補了產業鏈的空白,也為合肥打造“中國IC之都”提供了強勁支撐。
上海至純潔凈系統科技股份有限公司成立于2000年,致力于半導體設備、半導體工藝系統以及相關專業服務,2017年初在上交所上市。合肥至微半導體有限公司,是至純科技旗下半導體晶圓再生和部件再生項目的載體,為集成電路企業12英寸晶圓提供晶圓再生及零部件再生服務。
晶圓再生指的是通過去除損耗控擋片表面的雜質和缺陷,使處理后的晶圓達到新片的標準,實現其循環再利用,進而為企業節約大量成本。至微項目以14納米晶圓廠的再生晶圓需求為設計基礎,是服務于中國半導體高階市場的首條投產的12英寸晶圓再生產線。項目全面達產后,可形成每年168萬片晶圓再生及120萬件零部件清洗的能力,滿產后年產值至少可超過6億元。
項目的成功量產,來之不易。從2020年3月開工起,一直在努力克服新冠疫情的干擾。對此,至純集團董事長蔣淵也深有感觸。“當初我們被合肥的產業布局格局吸引,被新站的務實作風打動,決定將至純科技的晶圓再生業務落地在此。經歷新冠疫情的影響,我們克服了很多困難,在年內就完成了大部分設備的搬入,今年的3月,工廠開始試生產。到這個月,隨著ISO認證的順利通過,已經有了正式訂單開始量產。”她表示,企業將重研發,抓質量,立志成為國內領先的半導體工藝裝備材料提供商,代表本土品牌參與國際競爭。
新站高新區黨工委書記、管委會主任王連貴在致辭中指出,將繼續主動為企業提供精準服務,支持企業發展,促進項目量產后盡早達產滿產,推動合肥集成電路產業更加高質量發展。
新站高新區黨工委書記、管委會主任王連貴,上海至純集團董事長蔣淵,華海清科公司總經理張國銘等致辭。
近年來,合肥已成為國內集成電路產業發展*快、成效*顯著的城市之一,而新站高新區則是合肥市“芯屏”產業的“主陣地”,已成為全國規模*大、技術方向*齊全的新型顯示產業基地。隨著晶合、新匯成、奕斯偉、上海新陽等一批龍頭企業相繼投產,設計、制造、材料、封測全產業鏈條不斷壯大,新站高新區也成為全國重要的集成電路產業板塊,是很多半導體企業眼中主體集聚、配套齊全,環境優越的投資熱土。
隨著合肥至微項目1期的量產,新站成為滿足“晶圓再生”需求的重要基地,也為合肥市集成電路產業高質量發展注入了新的動力,讓合肥集成電路產業更加“芯光燦爛”。

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