集微網(wǎng)消息，8月10日，合肥經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)管理委員會網(wǎng)站發(fā)布關(guān)于對合肥至匯半導(dǎo)體應(yīng)用技術(shù)有限公司半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造項目（一期）環(huán)境影響評價文件擬作出審批意見的公示。

　　半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造項目（一期）建設(shè)單位為合肥至匯半導(dǎo)體應(yīng)用技術(shù)有限公司，項目位于合肥經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)，項目總投資18000萬元，投產(chǎn)后可年產(chǎn)30臺年產(chǎn)批次式半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備和10臺單片式半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備。

　　企查查顯示，合肥至匯半導(dǎo)體應(yīng)用技術(shù)有限公司成立于2019年，注冊資本1000萬元人民幣，法定代表人為蔣淵。上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司為該公司股東，持股比例100%。

　　上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司成立于2000年，致力于半導(dǎo)體設(shè)備、半導(dǎo)體工藝系統(tǒng)以及相關(guān)專業(yè)服務(wù)，2017年初在上交所上市。

　　2021年7月，至純科技合肥至微項目在新站高新區(qū)舉行量產(chǎn)儀式，該項目投資約10億元，包括晶圓再生和半導(dǎo)體部件再生。至微項目以14納米晶圓廠的再生晶圓需求為設(shè)計基礎(chǔ)，是服務(wù)于中國半導(dǎo)體高階市場的首條投產(chǎn)的12英寸晶圓再生產(chǎn)線。項目全面達產(chǎn)后，可形成每年168萬片晶圓再生及120萬件零部件清洗的能力，滿產(chǎn)后年產(chǎn)值至少可超過6億元。 （校對/若冰）

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