合肥露笑半導體材料有限公司第三代功率半導體(碳化硅)產業園項目環境影響評價第二次公示(征求意見稿公示)
建設內容:項目總投資210000萬元,項目用地88.2畝,其中一期用地約43.6畝。采用碳化硅升華法長晶工藝及SiC襯底加工工藝,購置晶體生長爐、晶錠退火爐、中央控制室、端面研磨機、外圓研磨機、多線切割機、晶片退火設備、倒角機、雙面拋光、清洗機、測試設備、超凈室、研發設備等先進設備。建成后形成年產24萬片6英寸碳化硅襯底片的生產能力。
廢水:本項目廢水主要包括工藝生產廢水、設備循環冷卻廢水、廢氣治理外排廢水、純水制備濃水以及生活廢水等。
廢氣:本項目大氣污染物主要是籽晶粘接廢氣、碳化硅襯底片檢驗擦拭廢氣、碳化硅襯底片清洗廢氣以及污水處理站產臭單元廢氣等。
固體廢棄物:本項目生產產生的固廢包括一般固廢(不合格晶體、邊角料、普通廢包裝袋、廢坩堝、廢鋼絲,生活垃圾、污泥等)、危險廢物(廢切削液、廢研磨液、廢拋光液、廢硫酸、廢鹽酸、廢氫氟酸、廢原料桶、廢氨水等)以及生活垃圾。
噪聲:廠區的6英寸晶體爐、多線切割機、研磨拋設備、清洗設備、污水泵、風機、冷卻塔等設備的噪聲是主要噪聲源。
①廢水污染防治措施:項目生產廢水和生活污水經廠區自建污水處理站(“調節池+混凝沉淀+氣浮池+水解酸化+SBR接觸氧化+MBR膜法”處理工藝)處理達到《污水綜合排放標準》三級標準和蔡田鋪污水處理廠接管標準后納入市政污水管網,由蔡田鋪污水處理廠處理達GB18918-2002《城鎮污水處理廠污染物排放標準》一級 A 標準和《巢湖流域城鎮污水處理廠和工業行業主要水污染物排放限值》(DB34/2710-2016)中相關標準后排入板橋河。
②廢氣污染防治措施:襯底片加工清洗廢氣經酸堿洗滌塔處理后由1根15m高排氣筒排放;污水處理站產臭單元全封閉,廢氣經管道收集后由1根15m高的排氣筒排放。
③固體廢棄物污染防治措施:項目產生的危險廢物暫存于危廢暫存間內,定期委托有資質單位處理;一般固廢綜合外售處理,生活垃圾由環衛部門清運。
合肥露笑半導體材料有限公司第三代功率半導體(碳化硅)產業園項目符合國家產業政策,符合長豐縣雙墩鎮用地規劃要求,符合國發〔2018〕22號《國務院關于印發打贏藍天保衛戰三年行動計劃的通知》、《巢湖流域水污染防治條例》、“三線一單”等相關要求。項目采用了清潔的原料和先進的生產工藝,符合清潔生產要求;項目實施后,通過采取相應的污染防治措施,各類廢氣、廢水、噪聲可以做到穩定達標排放,固態廢物能夠得到合理處置,不會降低評價區域大氣、地表水和聲環境質量原有功能級別;通過采取相應環境風險防范措施,項目廠區可能導致的環境風險在可接受范圍。
評價認為,擬建項目在建設和生產運行過程中,切實落實報告書提出的各項污染防治措施及“三同時”制度的前提下,從環境影響角度,項目建設可行
報告書征求意見稿紙質版:公眾可通過電話、傳真和電子郵件等方式與項目建設單位或承擔環評的單位進行聯系,聯系方式如下:
本次環境影響評價征求意見的范圍主要是:建設項目環境影響評價范圍內的公民、法人、其他組織或者相關公眾;公眾意見表詳見附件2。
在公告時間內,公眾可向建設單位或環評單位通過e-mail、傳真、信函或其他便利的形式提交書面意見。
合肥露笑半導體材料有限公司第三代功率半導體(碳化硅)項目征求意見稿.pdf

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