合肥集成電路產(chǎn)業(yè)再添頭部力量。安徽商報(bào)融媒體記者12日從合肥經(jīng)開區(qū)獲悉，居全球半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)備四大廠商的日本荏原制作外商獨(dú)資企業(yè)合肥荏原精密機(jī)械有限公司工廠，日前在該區(qū)建成，補(bǔ)充和豐富了合肥集成電路產(chǎn)業(yè)鏈上的裝備環(huán)節(jié)。

　　據(jù)介紹，日前，合肥荏原精密機(jī)械有限公司工廠一期正式竣工，是一家以半導(dǎo)體制造設(shè)備為主的企業(yè)。其生產(chǎn)設(shè)備干式真空泵位居全球半導(dǎo)體行業(yè)四大廠商，CMP研磨機(jī)市場(chǎng)占有率全球第二，并與國內(nèi)幾十家半導(dǎo)體領(lǐng)先企業(yè)合作關(guān)系密切。合肥工廠投資總額約3億元，占地約30畝，分2期建設(shè)，項(xiàng)目一期主要從事干式真空泵的制造、維保服務(wù)等。

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