集微網消息，8月10日，合肥經濟技術開發區管理委員會網站發布關于對合肥至匯半導體應用技術有限公司半導體濕法設備制造項目（一期）環境影響評價文件擬作出審批意見的公示。

　　半導體濕法設備制造項目（一期）建設單位為合肥至匯半導體應用技術有限公司，項目位于合肥經濟技術開發區，項目總投資18000萬元，投產后可年產30臺年產批次式半導體濕法清洗設備和10臺單片式半導體濕法清洗設備。

　　企查查顯示，合肥至匯半導體應用技術有限公司成立于2019年，注冊資本1000萬元人民幣，法定代表人為蔣淵。上海至純潔凈系統科技股份有限公司為該公司股東，持股比例100%。

　　上海至純潔凈系統科技股份有限公司成立于2000年，致力于半導體設備、半導體工藝系統以及相關專業服務，2017年初在上交所上市。

　　2021年7月，至純科技合肥至微項目在新站高新區舉行量產儀式，該項目投資約10億元，包括晶圓再生和半導體部件再生。至微項目以14納米晶圓廠的再生晶圓需求為設計基礎，是服務于中國半導體高階市場的首條投產的12英寸晶圓再生產線。項目全面達產后，可形成每年168萬片晶圓再生及120萬件零部件清洗的能力，滿產后年產值至少可超過6億元。 （校對/若冰）

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